정렬 마크
Alignment mark
정렬 마크는 의 위치와 방향을 읽어 다음 패턴을 놓는 기준으로 사용하는 구조이다.
설명
장비는 마크 신호를 이용해 의 이동·회전·변형을 추정한다. 마크가 막에 가려지거나 비대칭으로 가공되면 읽는 위치가 달라질 수 있다.
예시
증착이나 조건을 바꾼 뒤 정렬이 흔들리면 장비뿐 아니라 마크의 형상과 신호 품질도 살펴야 한다. 기준점 자체의 변화가 위치 측정에 영향을 준다.
구분
정렬 정확도는 위치 제어와 읽을 수 있는 기준 구조를 함께 필요로 한다.