PEB
Post-exposure bake
노광 후 베이크
PEB는 후 의 반응을 진행시키거나 안정시키기 위해 수행하는 가열 단계이다.
설명
화학증폭형 레지스트에서는 으로 생긴 산이 반응을 돕는다. 가열 조건은 반응 범위와 최종 치수에 영향을 주므로 과 별개의 관리 항목이다.
예시
도포 뒤 용제를 줄이는 와 달리 후의 반응을 다룬다. 모든 레지스트가 동일한 PEB 원리와 조건을 사용하는 것은 아니다.
구분
가열 단계는 공정 시점과 그때 일어나는 화학 변화로 구분한다.