CD
Critical Dimension
임계치수
CD는 소자나 배선의 기능에 중요한 선폭·구멍 지름 등 관리 대상 치수이다.
설명
후 CD와 후 CD는 측정 시점과 재료가 다르다. 같은 수치라도 어느 높이·어느 위치에서 측정했는지에 따라 의미가 달라질 수 있다.
예시
선폭이 맞는다는 보고를 받으면 기준인지 실제 가공층 기준인지 확인한다. 측정 대상과 기준이 달라지면 공정 변화의 해석도 달라진다.
구분
CD에는 숫자와 함께 재료·단계·측정 기준을 붙인다.