선 가장자리 거칠기
Line-edge roughness
LER
선 가장자리 거칠기는 선의 경계가 길이 방향을 따라 미세하게 흔들리는 정도이다.
설명
평균 선폭이 같아도 가장자리의 변동이 크면 좁은 구간이나 전기장 집중이 생길 수 있다. 광학·감광 반응··이 거칠기에 영향을 줄 수 있다.
예시
평균 가 일치한다고 패턴의 모든 위치가 같은 폭은 아니다. 평균값과 국부 변동을 나누어 보아야 미세 구조의 품질을 설명할 수 있다.
구분
패턴 품질에는 대표 치수와 경계의 균일성이 함께 들어간다.