현상 후 검사
After-develop inspection
ADI
현상 후 검사는 등 후속 가공 전에 패턴의 치수·위치·결함을 확인하는 검사이다.
설명
이 단계에서 끊김·붙음·잔류막·정렬 문제를 찾으면 아직 가공하지 않은 아래층을 보호할 기회가 있다. 검사 대상과 표본은 위험한 구조를 반영해야 한다.
예시
선이 이웃 선과 붙어 있으면 후에도 잘못된 연결이 남을 수 있다. 후속 공정으로 넘기기 전에 현재 패턴이 마스크 역할을 할 수 있는지 판단한다.
구분
현상 후 검사는 잘못된 정보를 실제 재료에 옮기기 전의 확인 단계이다.