다중 패터닝
Multiple patterning
다중 패터닝은 한 번의 패턴 형성으로 어려운 밀도나 배치를 여러 단계로 나누어 만드는 방법이다.
설명
패턴을 나누어 여러 번 노광하거나 같은 구조를 활용해 간격을 줄일 수 있다. 각 방식마다 추가 공정과 정렬·치수 오차의 관리 항목이 달라진다.
예시
더 촘촘한 패턴을 얻는 대신 단계 수와 누적 변동이 늘 수 있다. 다중 패터닝을 단순히 같은 을 반복하는 일로 이해하지 않는다.
구분
패턴 밀도 향상은 새로운 공정 단계와 오차 관리의 부담을 함께 만든다.