건식 식각
Dry etching
건식 식각은 액체 대신 기체 반응이나 등을 이용해 재료를 제거하는 방식이다.
설명
미세 패턴에서는 반응성 입자와 방향성 있는 이온의 조합으로 형상을 제어하는 경우가 많다. 반응 후 생성물이 배출될 수 있어야 제거가 지속된다.
예시
건식이라는 이유만으로 항상 빠르거나 가 높은 것은 아니다. 재료의 반응성, 생성물의 성질, 손상과 형상 요구에 맞춰 조건을 정한다.
구분
건식의 장점은 현재 재료와 구조에서 실제로 얻는 방향성·제어성으로 판단한다.