식각 종료점
Etch endpoint
종료점 검출
식각 종료점은 목표층 제거가 필요한 상태에 도달했음을 나타내는 시점이다.
설명
공정 중 빛이나 반응 생성물 신호의 변화 등을 이용해 층이 바뀌는 순간을 추정할 수 있다. 작은 개구부나 위치별 차이 때문에 신호가 모든 곳의 완전 제거를 곧바로 보장하지는 않는다.
예시
종료 신호가 검출되어도 가장 늦게 제거되는 위치를 따로 확인한다. 신호가 평균적 변화인지 특정 패턴의 결과인지 구별해야 한다.
구분
종료 신호와 전체의 목표 상태는 연결하되 동일시하지 않는다.