식각 정지층
Etch-stop layer
정지층은 목표 식각 조건에서 상대적으로 덜 제거되어 아래 구조를 보호하거나 깊이 제어를 돕는 층이다.
설명
목표막과 정지층의 를 활용한다. 정지층도 전혀 줄지 않는 절대 장벽은 아니며 추가 노출 시간과 초기 두께에 따라 소모될 수 있다.
예시
다음 단계에서 정지층을 다시 열어야 한다면 보호 기능과 제거 가능성을 함께 설계한다. 정지층의 잔류 자체가 접촉을 막는 문제가 될 수도 있다.
구분
정지층은 현재 단계의 보호와 다음 단계의 연결을 함께 고려해 넣는다.