플라즈마
Plasma
플라즈마는 기체 일부가 이온과 전자로 나뉘어 전하를 가진 입자와 중성 입자가 함께 존재하는 상태이다.
설명
전자는 기체와 충돌해 반응성이 높은 입자를 만들 수 있다. 에서는 화학반응을 돕는 중성종과 방향성을 제공하는 이온 등을 목적에 맞게 이용한다.
예시
플라즈마를 단순히 매우 뜨거운 기체로만 이해하지 않는다. 반도체 공정에서는 전자와 기판의 온도가 같은 상태가 아니며 기판이 받는 영향은 여러 입자에 의해 달라진다.
구분
플라즈마의 역할은 빛나는 외관보다 생성하는 입자와 표면 작용으로 이해한다.