플라스마
Plasma
플라스마는 전자와 등 전하를 띤 입자가 중성 입자와 함께 존재하며 집단적인 전기적 거동을 보이는 상태다.
설명
반도체 공정에서는 전기 에너지로 가스를 활성화해 ·증착·표면 처리에 이용한다. 전자의 에너지와 온도가 같은 개념은 아니어서 비교적 낮은 기판 온도에서도 반응을 도울 수 있다.
예시
플라스마가 밝게 보인다는 사실만으로 필요한 입자량이나 막질이 확보되었다고 판단하지 않는다. 전력·가스·압력과 결과를 함께 보아야 한다.
구분
빛의 유무가 아니라 어떤 활성종이 어떻게 작용하는지가 핵심이다.