RIE
Reactive Ion Etching
반응성 이온 식각
RIE는 반응성 기체의 화학 작용과 을 함께 이용하는 방식이다.
설명
화학반응으로 재료를 제거하기 쉬운 상태로 만들고 방향성 있는 이온으로 특정 방향의 반응을 돕는다. 둘의 결합 효과는 단순한 물리 제거와 다를 수 있다.
예시
화학반응만 강화하면 옆 방향 제거가 늘 수 있고 물리적 작용만 강화하면 손상과 마스크 소모가 커질 수 있다. 목표 형상과 재료 조합에 맞춘 균형이 필요하다.
구분
RIE는 화학과 물리 작용의 역할 분담으로 형상을 제어한다.