종횡비
Aspect ratio
종횡비는 구멍이나 홈의 깊이를 폭으로 나눈 비율이다.
설명
깊고 좁을수록 반응종이 바닥까지 들어가고 생성물이 밖으로 나오기 어려워질 수 있다. 윗면 조건이 같아도 구조 내부의 반응 환경은 달라진다.
예시
깊이 600 nm, 폭 100 nm인 홈의 종횡비는 6이다. 폭이 50 nm로 줄고 깊이가 같으면 12가 되며 단순히 폭만 작아진 문제로 보기 어렵다.
구분
종횡비는 구조 내부의 물질 전달과 가공 난도를 연결하는 지표이다.