플라즈마 충전 손상
Plasma charging damage
충전 손상
플라즈마 충전 손상은 구조에 유입·축적되는 전하의 불균형으로 절연막 등에 전기적 손상이 생기는 현상이다.
설명
큰 배선 구조가 전하를 모아 작은 게이트 절연층에 부담을 줄 수 있다. 외관상 패턴이 잘 형성되어도 누설이나 신뢰성 변화가 남을 수 있다.
예시
뒤 가 정상이라는 사실만으로 소자 손상까지 없다고 결론을 내리지 않는다. 형상 지표와 전기적 평가를 연결해 공정 영향을 확인한다.
구분
눈에 보이는 형상과 보이지 않는 전기적 손상은 별도의 확인 축이다.