어닐링
Annealing
어닐링은 가열과 냉각을 통해 재료의 결정·결함·전기적 상태 등을 변화시키는 열처리이다.
설명
뒤 손상 회복과 , 금속막의 구조 안정화 등 목적이 다양하다. 같은 가열이라도 무엇을 바꾸기 위한 단계인지 먼저 구분한다.
예시
산화는 산화막을 성장시키는 반응이 중심이고 어닐링은 도펀트와 결정 상태 조절이 중심이다. 온도가 비슷하다는 이유만으로 같은 공정이 아니다.
구분
열처리 이름보다 목표 반응과 허용하지 않을 변화를 확인한다.