스파이크 어닐링
Spike annealing
스파이크 어닐링은 최고 온도 부근의 유지 시간을 매우 짧게 하도록 구성한 방식이다.
설명
와 확산 사이의 균형을 맞추기 위한 방법 중 하나이다. 유지 시간이 짧아도 상승·냉각 중의 반응이 없어지는 것은 아니다.
예시
스파이크라는 이름이 이 전혀 없다는 뜻은 아니다. 목표 ·분포· 내 균일성을 실제 결과로 확인해야 한다.
구분
짧은 고온 노출도 전체 열 이력과 전기적 결과 안에서 해석한다.
Spike annealing
스파이크 어닐링은 최고 온도 부근의 유지 시간을 매우 짧게 하도록 구성한 방식이다.
와 확산 사이의 균형을 맞추기 위한 방법 중 하나이다. 유지 시간이 짧아도 상승·냉각 중의 반응이 없어지는 것은 아니다.
스파이크라는 이름이 이 전혀 없다는 뜻은 아니다. 목표 ·분포· 내 균일성을 실제 결과로 확인해야 한다.
짧은 고온 노출도 전체 열 이력과 전기적 결과 안에서 해석한다.