용어검색/반도체시트저항Sheet resistance팩별 설명반도체 공정 L1반도체 수율·불량 L1반도체 계측·검사 L1반도체 공정 L2반도체 소재 L2시트저항은 균일한 얇은 전도막의 저항 특성을 정사각형 형상 기준으로 나타낸 값이다.정의 복사관련 학습 ↓설명단위는 보통 Ω/□를 쓰며, 균일한 막에서는 비저항을 막두께로 나눈 관계로 이해할 수 있다. 막의 재료와 두께가 모두 영향을 준다.예시시트저항이 높아졌다고 바로 두께가 줄었다고 단정하지 않는다. 조성·도핑·열처리 등 비저항을 바꾼 요인도 살핀다.구분한 측정값에 여러 물리 변수가 함께 반영될 수 있다.함께 배우는 용어결함↗결함은 재료·형상·구조 등이 의도한 상태에서 벗어난 국소적 이상이다.불량 판정↗불량 판정은 제품이나 공정 결과가 정해진 요구사항을 만족하지 못했다는 판단이다.고장 모드↗고장 모드는 기능이나 성능이 어떤 모습으로 요구사항을 충족하지 못하는지를 나타낸다.이전 용어← 공정 모니터 구조다음 용어접촉저항 →반도체 기술지도전체 지도 ↗L0 큰 그림L1 분야 이해L2 깊은 탐구✦ BESTL0반도체 시작10무료학습 10개✦ BESTL1반도체 용어오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 공정오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 공정오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 장비오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 장비오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 패키징·HBM오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 패키징·HBM오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 수율·불량오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 수율·불량오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 테스트오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 테스트오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 계측·검사오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 계측·검사오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 소재오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 소재오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 소자오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 소자오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 클린룸·오염관리오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 클린룸·오염관리오픈 30% · 27,300원학습 30개L1Fab 자동화·MES오픈 30% · 27,300원학습 30개L2Fab 자동화·MES오픈 30% · 27,300원학습 30개