공정 모니터 구조
Process control monitor
PCM
공정 모니터 구조는 공정 결과의 특성을 측정하기 위해 설계한 별도의 소자나 패턴이다.
설명
저항, 접촉, 절연, 트랜지스터 등을 단순화하여 어떤 공정 특성이 변했는지 읽기 쉽게 만든다.
예시
긴 연결 사슬은 접촉 실패에 민감할 수 있지만 실제 회로와 형상·부하가 다르다. 시험 구조의 목적을 알아야 결과를 해석할 수 있다.
구분
모니터 구조는 제품을 축소 복제한 것이 아니라 특정 특성을 드러내는 도구다.