STI
Shallow Trench Isolation
얕은 트렌치 분리
STI는 실리콘에 얕은 홈을 만들고 절연 재료를 채워 이웃 소자 영역을 분리하는 구조 또는 공정이다.
설명
패터닝과 홈 , 표면 처리, 절연막 충전, 가 연결된다. 절연막이 있다는 사실만 아니라 홈 가장자리와 충전 내부의 품질도 중요하다.
예시
홈을 잘 파도 충전 중 빈틈이 생기거나 평탄화가 과도하면 후속 소자 형성에 영향을 준다. STI는 한 번의 이 아니라 완성된 분리 구조로 평가한다.
구분
소자분리는 제거·채움·평탄화를 연결해 전기적 경계를 만드는 일이다.