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자기정렬

Self-alignment

자기 정렬

자기정렬은 이미 형성된 구조를 마스크나 기준으로 이용해 후속 구조의 상대 위치를 정하는 방식이다.

설명

새 의 정렬 오차에 대한 의존을 줄일 수 있다. 다만 기준 구조의 치수·변형· 등 다른 오차 요인이 없어지는 것은 아니다.

노광

노광은 감광막에 빛을 조사해 원하는 위치에 화학적 변화를 기록하는 과정이다.

식각 선택비

식각 선택비는 목표 재료의 식각률을 비교 재료의 식각률로 나눈 값이다.

자기정렬은 자동으로 완벽하게 맞는다는 뜻이 아니다. 어떤 경계가 기준이고 무엇이 그 경계를 바꾸는지 알아야 장점을 이해할 수 있다.

정렬 오차를 줄이는 대신 기준 구조 자체의 품질을 관리한다.

노광은 감광막에 빛을 조사해 원하는 위치에 화학적 변화를 기록하는 과정이다.

식각 선택비는 목표 재료의 식각률을 비교 재료의 식각률로 나눈 값이다.

에피 웨이퍼는 단결정 기판 위에 그 결정 배열을 이어받은 반도체층을 성장시킨 웨이퍼이다.