high-k 절연막
High-k dielectric
high-k
high-k 절연막은 이산화실리콘보다 상대유전율이 큰 절연 재료이다.
설명
게이트에서 같은 정전용량을 확보하면서 물리적 두께를 더 크게 둘 수 있어 직접 터널링 누설을 줄이는 데 활용한다. 재료 결함과 채널 계면의 품질까지 자동으로 좋아지는 것은 아니다.
예시
두꺼워도 전기장이 전혀 전달되지 않는다는 뜻은 아니다. 게이트 제어 능력은 물리적 두께와 유전율의 조합에 따라 달라진다.
구분
high-k는 두께와 전기적 결합 사이의 관계를 재료로 조절하는 방법이다.