확산 방지막
Diffusion barrier
금속 확산 방지막
확산 방지막은 도전 재료의 원자가 주변 절연막이나 반도체 쪽으로 이동하는 것을 억제하는 층이다.
설명
전기적 연결부에서는 금속 확산으로 인한 누설과 재료 오염을 줄이는 데 사용한다. 다만 방지막도 공간을 차지하고 전류 경로의 저항에 영향을 줄 수 있다.
예시
두껍게 하면 차단에 유리한 경우가 있지만 실제 전류가 흐를 금속의 단면적은 줄어든다. 얇게 할 때는 연속성과 보호 성능이 유지되는지 확인한다.
구분
방지막은 확산 억제와 도전 공간 확보 사이의 균형으로 설계한다.