접점 프리클린
Contact preclean
접점 전 세정
접점 프리클린은 금속 형성 전에 접촉면의 산화막·잔류물 등을 적합한 상태로 정리하는 세정이다.
설명
얇은 절연성 잔류층도 을 높일 수 있다. 세정이 과하면 접합이나 주변 막을 손상할 수 있어 제거 대상과 보존 대상이 명확해야 한다.
예시
세정 후 표면이 다시 산화되거나 오염되기 전에 후속 막 형성을 관리한다. 세정 직후 표면과 실제 증착 순간의 표면이 다를 수 있다.
구분
접점 계면은 세정 결과와 다음 공정까지의 대기 조건이 함께 결정한다.