low-k 절연막
Low-k dielectric
low-k
low-k 절연막은 배선 사이의 을 줄이기 위해 상대유전율을 낮춘 절연 재료이다.
설명
인접 선 사이 전기적 결합을 줄여 신호 지연과 간섭을 완화하는 데 활용한다. 유전율을 낮추기 위한 구조가 기계적 강도나 수분·공정 손상 민감도에 영향을 줄 수 있다.
예시
게이트에서 전기적 결합을 높이려는 와 배선에서 불필요한 결합을 줄이려는 low-k는 목적이 다르다. 유전율은 높을수록 또는 낮을수록 항상 좋은 값이 아니다.
구분
재료의 유전율은 어느 두 영역의 결합을 늘리거나 줄일지에 맞춰 선택한다.