층간 절연막
Interlayer dielectric
ILD
층간 절연막은 서로 다른 도전 경로가 원하지 않게 연결되지 않도록 배선 사이를 분리하는 막이다.
설명
전기적 절연뿐 아니라 금속 구조를 지지하고 다음 배선의 가공 공간을 제공한다. 누설·정전용량·기계적 강도·공정 손상 내성이 함께 요구된다.
예시
전류가 거의 흐르지 않는다는 특성만으로 적합성을 결정하지 않는다. 절연막이 지나치게 약하면 나 후속 취급에서 구조가 손상될 수 있다.
구분
층간 절연막은 전기적 분리와 제조 중 구조 지지를 함께 맡는다.