다마신
Damascene
다마신 공정
다마신은 절연막에 홈이나 구멍을 먼저 만든 뒤 금속을 채우고 표면의 과잉 금속을 제거해 배선을 남기는 방식이다.
설명
금속을 넓게 쌓고 선 모양으로 직접 하는 방식과 순서가 다르다. 구리 배선 등에서 패턴 형성·충전·가 긴밀하게 연결된다.
예시
금속선 모양은 금속 식각만으로 정해지는 것이 아니라 앞서 만든 절연막 홈과 후속 평탄화 결과에 의해 정해진다. 어느 재료에 패턴을 먼저 만드는지 본다.
구분
다마신의 핵심은 빈 공간의 패턴을 만들고 그 안에 도전 재료를 남기는 것이다.