용어검색/반도체일렉트로마이그레이션ElectromigrationEM팩별 설명반도체 공정 L1반도체 수율·불량 L1반도체 소재 L1반도체 공정 L2반도체 패키징·HBM L2반도체 수율·불량 L2반도체 소재 L2일렉트로마이그레이션인 EM은 도전체의 전류 흐름과 관련된 힘에 의해 원자가 이동하고 재료가 재분포하는 현상이다.정의 복사관련 학습 ↓설명전류 밀도·온도·미세구조·계면·응력 조건에 따라 보이드나 돌출이 발달하여 단선·단락 위험을 만들 수 있다.전류 밀도전류 밀도는 단위 단면적을 통과하는 전류다.용어 상세 ↗예시같은 총전류도 좁은 비아 부근에서는 전류 밀도가 커질 수 있다.비아비아는 서로 다른 배선층 사이를 연결하는 도전 구조다.용어 상세 ↗전류 밀도전류 밀도는 단위 단면적을 통과하는 전류다.용어 상세 ↗구분총전류만 아니라 국부 단면과 전류 집중을 확인한다.함께 배우는 용어전류 밀도↗전류 밀도는 단위 단면적을 통과하는 전류다.비아↗비아는 서로 다른 배선층 사이를 연결하는 도전 구조다.초점 심도↗초점 심도는 원하는 패턴 품질을 유지할 수 있는 초점 위치의 허용 범위다.이전 용어← 신뢰성다음 용어전류 밀도 →반도체 기술지도전체 지도 ↗L0 큰 그림L1 분야 이해L2 깊은 탐구✦ BESTL0반도체 시작10무료학습 10개✦ BESTL1반도체 용어오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 공정오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 공정오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 장비오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 장비오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 패키징·HBM오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 패키징·HBM오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 수율·불량오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 수율·불량오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 테스트오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 테스트오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 계측·검사오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 계측·검사오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 소재오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 소재오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 소자오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 소자오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 클린룸·오염관리오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 클린룸·오염관리오픈 30% · 27,300원학습 30개L1Fab 자동화·MES오픈 30% · 27,300원학습 30개L2Fab 자동화·MES오픈 30% · 27,300원학습 30개