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초점 심도

Depth of focus

DOF

팩별 설명

초점 심도는 원하는 패턴 품질을 유지할 수 있는 초점 위치의 허용 범위다.

설명

단순 경향은 파장/²에 비례하므로 NA를 높이면 초점 여유가 줄어들 수 있다. 실제 허용 범위는 패턴과 레지스트 기준에 따라 정한다.

개구수인 NA는 광학계가 받아들이는 빛의 각도 범위와 매질의 굴절률을 반영하는 값이다.

표면 높이 변화가 같은 웨이퍼도 더 좁은 초점 창을 쓰면 일부 영역이 먼저 불합격할 수 있다.

평탄화와 노광은 초점 여유를 통해 연결된다.

개구수인 NA는 광학계가 받아들이는 빛의 각도 범위와 매질의 굴절률을 반영하는 값이다.

핵심 품질 특성인 CTQ는 제품의 기능·신뢰성에 중요한 영향을 주어 관리 대상으로 정한 특성이다.

공정 윈도우는 정한 품질 조건을 동시에 만족하는 입력변수 조합의 범위다.