타원편광법
Ellipsometry
타원편광법은 시료 반사 전후의 상태 변화를 측정하여 과 재료 특성을 추정하는 방법이다.
박막은 기판 위에 형성한 얇은 재료층으로, 절연·전도·보호 등 필요한 기능을 맡는다.
용어 상세 ↗설명
두 성분의 상대 진폭과 위상 변화인 Ψ와 Δ를 측정한다. 이 값들을 모델과 비교해 두께와 광학상수를 구하며 두께를 직접 읽는 자는 아니다.
예시
반사율 결과와 비교할 때 둘 다 광학 모델을 공유하면 같은 모델 오류가 남을 수 있다. 측정 신호가 다르다는 점과 가정이 겹치는 점을 함께 본다.
구분
타원편광법의 원시 정보는 변화이며 두께는 해석 결과다.