화면을 준비하고 있습니다.

굴절률

Refractive index

굴절률은 매질에서 빛의 위상 속도가 진공과 얼마나 다른지를 나타내는 값이며 일반적으로 n으로 쓴다.

설명

굴절률은 과 재료 상태에 따라 달라질 수 있다. 분석에서 이를 잘못 가정하면 두께 추정에 영향을 줄 수 있다.

파장

파장은 파동의 같은 위상 사이의 거리이며 빛의 색과 물질 반응을 구분하는 중요한 변수이다.

박막

박막은 기판 위에 형성한 얇은 재료층으로, 절연·전도·보호 등 필요한 기능을 맡는다.

조성이 변한 막을 이전 굴절률로 고정해 분석하면 실제 두께 변화가 아닌데 두께가 움직인 것처럼 나올 수 있다. 재료 모델의 적용 범위를 확인한다.

굴절률은 고정 상수표 하나가 아니라 재료· 조건과 연결한다.

파장

파장은 파동의 같은 위상 사이의 거리이며 빛의 색과 물질 반응을 구분하는 중요한 변수이다.

파장은 파동의 같은 위상 사이의 거리이며 빛의 색과 물질 반응을 구분하는 중요한 변수이다.

박막은 기판 위에 형성한 얇은 재료층으로, 절연·전도·보호 등 필요한 기능을 맡는다.

오버레이는 서로 다른 공정 층의 패턴이 설계상 위치 관계에서 얼마나 어긋났는지를 나타내는 상대 위치 차이다.