4점 탐침
Four-point probe
4점 탐침법
4점 탐침은 전류를 공급하는 두 접점과 전압을 읽는 두 접점을 이용해 도전층의 등을 측정하는 방식이다.
설명
전압 측정 경로를 분리해 의 영향을 줄인다. 시료 크기·막 두께·탐침 간격·가장자리 위치에 따라 필요한 보정과 해석이 달라질 수 있다.
예시
변화는 ·막 두께·재료 상태가 합쳐진 전기적 결과이다. 이 방법으로 도펀트의 모든 깊이 분포를 직접 확인할 수 있는 것은 아니다.
구분
전기 측정의 장점과 그 숫자가 구분하지 못하는 원인을 함께 이해한다.