브리지 결함
Bridge defect
브리지
브리지 결함은 떨어져 있어야 할 패턴 사이를 재료가 다리처럼 이어 놓은 결함이다.
설명
이 붙거나 이 덜 되거나 금속 잔류가 남는 등의 과정에서 생길 수 있다. 같은 모양이라도 어느 재료와 어느 단계에서 발견했는지가 중요하다.
예시
브리지는 후속 가공에 잘못된 패턴을 줄 수 있고 금속 브리지는 직접 경로가 될 수 있다. 외형과 전기적 결과를 구분해 기록한다.
구분
브리지는 위치·재료·발생 단계가 있어야 공정 원인과 연결된다.