막 소모 예산
Film consumption budget
막 소모 예산은 여러 후속 단계에서 줄어들 재료의 양을 예상해 필요한 잔여 두께를 확보하는 계획이다.
설명
·세정· 등에서 같은 층이 반복 소모될 수 있다. 개별 단계의 소모가 작아도 합하면 보호 기능을 잃을 수 있다.
예시
초기 보호막 50 nm가 두 단계에서 각각 12 nm와 18 nm 줄면 잔여는 20 nm이다. 최소 요구가 25 nm라면 두 단계의 합이 요구를 만족하지 못한다.
구분
남길 막은 공정별 소모가 아니라 누적 잔여량으로 관리한다.