계단 접속 구조
Staircase contact structure
계단 접속
계단 접속 구조는 서로 다른 높이의 층에 전기적으로 닿도록 끝부분을 계단 형태로 노출한 구조이다.
설명
등에서 각 층의 전극을 외부 배선과 연결할 자리를 제공한다. 셀을 많이 쌓아도 필요한 층을 구별해 연결하지 못하면 사용할 수 없다.
예시
적층 수가 늘면 접속 영역과 패터닝·정렬 요구도 변한다. 저장 셀 밀도와 주변 접속 구조의 공정 부담을 함께 고려한다.
구분
수직 적층의 완성에는 셀 형성과 각 층으로 가는 연결이 모두 필요하다.