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웨이퍼맵

Wafer map

팩별 설명

웨이퍼맵은 측정값이나 결함 위치를 의 공간 좌표에 맞춰 표시한 자료이다.

웨이퍼

웨이퍼는 여러 반도체 소자를 함께 제조하는 원판 형태의 기판이다.

설명

평균에서 보이지 않는 중심·외곽 차이나 방향성을 보여준다. 측정되지 않은 영역을 색으로 채웠다면 실제 측정점과 보간 영역을 구분해야 한다.

매끈한 색상 지도가 있어도 실제 점이 다섯 개뿐이면 국소 이상은 확인하지 못했을 수 있다. 보기 좋은 지도와 충분한 관찰은 다르다.

지도는 위치 패턴을 보여주지만 빈 영역까지 측정한 것은 아니다.

웨이퍼는 여러 반도체 소자를 함께 제조하는 원판 형태의 기판이다.

반도체 계측은 공정으로 만들어진 구조나 재료의 특성을 수치로 구하는 활동이다.

결함 검사는 표면이나 패턴에서 기준과 다른 이상 후보를 찾아 위치와 특성을 기록하는 활동이다.