반도체 계측
Semiconductor metrology
반도체 계측은 공정으로 만들어진 구조나 재료의 특성을 수치로 구하는 활동이다.
설명
선폭, 막두께, 층 사이 위치 차이처럼 먼저 측정할 양을 정하고 적절한 신호를 읽는다. 장비가 출력한 숫자는 대상·위치·방법이 함께 명시되어야 의미가 있다.
예시
막두께가 100 nm라는 결과도 어느 막을 어느 위치에서 어떤 모델로 구했는지 알아야 비교할 수 있다. 숫자만 같다고 같은 상태는 아니다.
구분
계측값은 숫자와 측정 조건을 한 묶음으로 읽는다.