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개구수

Numerical aperture

팩별 설명

개구수인 NA는 광학계가 받아들이는 빛의 각도 범위와 매질의 굴절률을 반영하는 값이다.

설명

단순 해상도 관계 ≈k1×파장/NA에서 NA 증가는 더 작은 구조를 분해하는 데 유리하다. 그러나 초점 허용 범위와 공정 복잡성도 함께 달라진다.

임계 치수인 CD는 소자의 기능이나 제조 허용 범위를 결정하는 중요한 패턴 치수다.

NA만 높이면 모든 패턴이 자동으로 개선된다는 결론은 광학·레지스트 조건을 생략한 것이다.

한 성능의 개선이 전체 확대와 같은지 확인한다.

공정 윈도우

공정 윈도우는 정한 품질 조건을 동시에 만족하는 입력변수 조합의 범위다.

임계 치수인 CD는 소자의 기능이나 제조 허용 범위를 결정하는 중요한 패턴 치수다.

공정 윈도우는 정한 품질 조건을 동시에 만족하는 입력변수 조합의 범위다.

핵심 품질 특성인 CTQ는 제품의 기능·신뢰성에 중요한 영향을 주어 관리 대상으로 정한 특성이다.