해상도 계수
Resolution factor
해상도 계수 k1은 조명·마스크·공정 조건 등이 리소그래피 해상도에 미치는 영향을 묶어 표현하는 계수다.
설명
파장과 가 같아도 패턴 형태나 공정 기법에 따라 인쇄 가능성이 달라진다. k1을 임의로 낮추는 숫자 조절로 이해하면 안 된다.
예시
가상 조건에서 파장 193 nm, 1.35, k1 0.30이면 근사 는 약 42.9 nm다. 이는 장비 성능 보증이 아니다.
구분
공식은 조건의 방향을 설명하며 실제 는 실험으로 확인한다.