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임계 치수

Critical dimension

팩별 설명

임계 치수인 CD는 소자의 기능이나 제조 허용 범위를 결정하는 중요한 패턴 치수다.

설명

선폭·공간 폭·구멍 지름 중 무엇을 측정하는지와 높이 위치를 정해야 한다. 같은 숫자라도 상부 선폭과 바닥 선폭은 다른 특성이다.

후 상부 CD와 식각 후 바닥 CD의 차이를 단순 장비 오차로 처리하지 않는다.

현상

현상은 감광 반응으로 생긴 용해도 차이를 이용해 선택된 레지스트 영역을 제거하는 과정이다.

CD 보고에는 구조·위치·공정 단계를 명시한다.

현상은 감광 반응으로 생긴 용해도 차이를 이용해 선택된 레지스트 영역을 제거하는 과정이다.

핵심 품질 특성인 CTQ는 제품의 기능·신뢰성에 중요한 영향을 주어 관리 대상으로 정한 특성이다.

공정 윈도우는 정한 품질 조건을 동시에 만족하는 입력변수 조합의 범위다.