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골든 레시피·기준 레시피

Golden / Reference Recipe

Golden Recipe

검증된 정상 장비·공정조건을 대표하도록 관리하는 기준 또는 ideal-장비 공정 레시피 개념.

공정 레시피

장비가 재료를 처리할 때 따라야 할 공정 단계, 조건, 파라미터의 정의된 집합.

설명

드리프트나 장비 간 일치성 문제를 분석할 때 생산 공정 레시피가 승인된 기준과 동일한지 확인하는 기준으로 활용될 수 있다.

공정 레시피

장비가 재료를 처리할 때 따라야 할 공정 단계, 조건, 파라미터의 정의된 집합.

새 장비를 적격성 검증할 때 기준 장비의 골든 레시피 결과와 비교해 일치성을 확인한다. 관련 용어:

베이스라인·기준 상태

새 조건이나 변경 결과를 비교하기 위해 현재 승인된 정상 공정, 장비 설정 또는 측정 성능을 기준 상태로 정의한 것.

골든 레시피는 검증된 기준 개념이고 실제 생산 공정 레시피는 제품·장비별 승인 버전이 별도로 관리될 수 있다.

공정 레시피

장비가 재료를 처리할 때 따라야 할 공정 단계, 조건, 파라미터의 정의된 집합.

장비가 재료를 처리할 때 따라야 할 공정 단계, 조건, 파라미터의 정의된 집합.

새 조건이나 변경 결과를 비교하기 위해 현재 승인된 정상 공정, 장비 설정 또는 측정 성능을 기준 상태로 정의한 것.

DUV 노광에 쓰이는 193 nm 파장의 엑시머 레이저 광원입니다.