베이스라인·기준 상태
Process Baseline
Baseline
새 조건이나 변경 결과를 비교하기 위해 현재 승인된 정상 공정, 장비 설정 또는 측정 성능을 기준 상태로 정의한 것.
설명
개선 효과를 주장하려면 무엇과 비교했는지 베이스라인이 명확해야 하며, 베이스라인 드리프트 자체가 이상 신호가 될 수도 있다.
예시
후보 공정의 와 을 현재 생산 베이스라인 결과와 같은 기준으로 비교한다. 관련 용어: / / /
스플릿 로트·조건분할 실험
같거나 유사한 웨이퍼 로트를 둘 이상의 공정 조건으로 나눠 처리하고 결과 차이를 비교해 공정 변경이나 가설을 평가하는 엔지니어링 시험 생산 방식.
용어 상세구분
베이스라인은 비교 기준이고 은 앞으로 도달하거나 유지하려는 목표값이다.