배관 흡착과 기억 효과
Line adsorption and memory
배관 기억 효과는 표면에 남았던 성분이 나중에 방출되어 이전 공급 이력이 다음 공정에 영향을 주는 현상이다.
설명
전구체가 표면에 흡착하거나 응축하면 밸브를 닫아도 하류 농도가 즉시 0이 되지 않을 수 있다. 센서의 유량 0과 챔버의 잔류 성분 0은 다르다.
예시
전구체 변경 후 초기 웨이퍼에서만 조성이 달라진다면 배관·챔버 잔류와 준비 단계도 조사한다. 외부 누설이나 혼합 계통 혼입과는 별개 가설이다.
구분
가스 경로는 현재 명령뿐 아니라 과거 노출의 영향을 받을 수 있다.