누적 공급량
Integrated delivered amount
누적 공급량은 시간에 따른 유량을 적분해 얻는 전체 공급량이다.
설명
정상 유량이 같아도 상승 지연이나 짧은 펄스 때문에 면적이 달라진다. 특히 공정시간이 정착시간과 비슷하면 피크값보다 전체 시간 이력이 중요해진다.
예시
가상 100 펄스가 1 s 내내 유지되면 1.67 표준 cm³다. 첫 0.5 s는 0이고 뒤 0.5 s만 유지되면 0.83 표준 cm³로 절반이다.
구분
짧은 공정은 유량의 높이뿐 아니라 파형 아래 면적으로 비교한다.