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선폭 거칠기

Line width roughness

LWR

팩별 설명

선폭 거칠기는 선을 따라 위치별 폭이 변하는 정도이며 LWR이라고 한다.

설명

한쪽 경계 위치의 변동인 과 다르다. 양쪽 경계가 함께 같은 방향으로 움직이면 가장자리가 굽어도 폭 변동은 작을 수 있다.

LER

선 가장자리 거칠기는 선의 한쪽 경계가 길이 방향으로 불규칙하게 흔들리는 정도이며 LER이라고 한다.

양쪽 경계를 같은 길이·해상도·필터 조건으로 측정해야 두 경계 사이 폭의 변동을 비교할 수 있다.

경계의 위치 변동과 양쪽 경계 사이 폭 변동을 구분한다.

선 가장자리 거칠기는 선의 한쪽 경계가 길이 방향으로 불규칙하게 흔들리는 정도이며 LER이라고 한다.

임계치수는 소자의 기능이나 공정 품질에 중요한 패턴의 폭·간격·구멍 지름 같은 치수이며 CD라고 부른다.

박막은 기판 위에 형성한 얇은 재료층으로, 절연·전도·보호 등 필요한 기능을 맡는다.