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선 가장자리 거칠기

Line edge roughness

LER

팩별 설명

선 가장자리 거칠기는 선의 한쪽 경계가 길이 방향으로 불규칙하게 흔들리는 정도이며 LER이라고 한다.

설명

양쪽 경계 사이 폭의 변동인 과 구분한다. 영상 잡음과 경계 검출 조건도 추정한 거칠기에 기여한다.

LWR

선폭 거칠기는 선을 따라 위치별 폭이 변하는 정도이며 LWR이라고 한다.

양쪽 경계가 함께 같은 방향으로 흔들리면 가장자리는 거칠어도 폭 변화는 작을 수 있다. LER만으로 을 동일하게 판단하지 않는다.

LWR

선폭 거칠기는 선을 따라 위치별 폭이 변하는 정도이며 LWR이라고 한다.

평균 ·한쪽 경계 변동·폭 변동은 각각 다른 정보를 준다.

임계치수는 소자의 기능이나 공정 품질에 중요한 패턴의 폭·간격·구멍 지름 같은 치수이며 CD라고 부른다.

선폭 거칠기는 선을 따라 위치별 폭이 변하는 정도이며 LWR이라고 한다.

임계치수는 소자의 기능이나 공정 품질에 중요한 패턴의 폭·간격·구멍 지름 같은 치수이며 CD라고 부른다.

박막은 기판 위에 형성한 얇은 재료층으로, 절연·전도·보호 등 필요한 기능을 맡는다.