질량유량 제어기
Mass flow controller
MFC질량 유량 제어기
질량유량 제어기인 MFC는 유량 센서와 제어 밸브를 이용해 설정된 질량유량을 유지하는 장치다.
설명
열식 방식은 가스의 열적 특성을 이용하므로 가스 교정과 보정이 중요하다. 제어기가 보는 센서값이 설정을 따르더라도 센서 편향이나 하류 전달 문제까지 사라진 것은 아니다.
예시
MFC 표시가 정상인데 막 성장량이 달라졌다면 공급 압력·밸브 응답·가스 종류·독립 유량 확인·하류 배관 상태를 나눠 본다.
구분
MFC 내부 추종 성능과 챔버에 도달한 가스의 정확성을 분리한다.