표준체적 유량
Standard volumetric flow
sccm
표준체적 유량은 질량 또는 몰 유량을 정해진 기준 온도·압력의 체적으로 표현한 값이다.
설명
sccm은 기준상태에서의 cm³/min를 뜻한다. 기준 온도와 압력은 장치·문서마다 확인해야 하며 낮은 압력 챔버의 실제 체적유량과 숫자를 그대로 비교할 수 없다.
예시
서로 다른 기준상태로 기록한 두 유량을 비교할 때는 같은 기준으로 환산한다. 기준을 모른 채 퍼센트 차이를 장비 오차로 보고하지 않는다.
구분
유량 단위에는 체적뿐 아니라 기준상태가 포함된다.