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측정 정확도

Measurement accuracy

팩별 설명

측정 정확도는 측정값이 의 참값에 얼마나 가까운지를 나타내는 개념이다.

측정량

측정량은 측정을 통해 값을 알고자 하는 양으로, 대상과 필요한 조건까지 포함해 정의한다.

설명

참값은 일반적으로 완전히 알 수 없으므로 실제 평가는 신뢰할 수 있는 기준값과 그 불확도를 활용한다. 정확도를 정밀도와 같은 뜻으로 쓰지 않는다.

반복값이 매우 좁게 모여도 기준에서 일정하게 떨어져 있으면 정확하다고 말하기 어렵다. 산포와 기준 대비 차이를 따로 살핀다.

참값에 대한 근접성과 반복값의 모임 정도를 구분한다.

측정량은 측정을 통해 값을 알고자 하는 양으로, 대상과 필요한 조건까지 포함해 정의한다.

반도체 계측은 공정으로 만들어진 구조나 재료의 특성을 수치로 구하는 활동이다.

결함 검사는 표면이나 패턴에서 기준과 다른 이상 후보를 찾아 위치와 특성을 기록하는 활동이다.