계측 장비 매칭
Metrology tool matching
계측 장비 매칭은 같은 에 대해 장비 간 결과 차이를 허용 범위 내로 관리하는 작업이다.
설명
평균 오프셋만 아니라 범위별 비선형성··재료 의존성도 비교해야 한다. 한 기준시편의 일치가 모든 제품의 일치를 뜻하지 않는다.
예시
얇은 막에서는 일치하지만 두꺼운 막에서 갈라지면 범위 의존 오차를 조사한다.
구분
제품·재료·측정 범위에 맞는 매칭을 검증한다.
Metrology tool matching
계측 장비 매칭은 같은 에 대해 장비 간 결과 차이를 허용 범위 내로 관리하는 작업이다.
평균 오프셋만 아니라 범위별 비선형성··재료 의존성도 비교해야 한다. 한 기준시편의 일치가 모든 제품의 일치를 뜻하지 않는다.
얇은 막에서는 일치하지만 두꺼운 막에서 갈라지면 범위 의존 오차를 조사한다.
제품·재료·측정 범위에 맞는 매칭을 검증한다.