용어검색/반도체반복성Repeatability팩별 설명반도체 장비 L1반도체 수율·불량 L1반도체 테스트 L1반도체 소재 L1반도체 공정 L2반도체 패키징·HBM L2반도체 수율·불량 L2반도체 테스트 L2반도체 클린룸·오염관리 L2Fab 자동화·MES L2반복성은 정한 동일 조건에서 반복 측정한 결과들이 얼마나 가깝게 모이는지를 나타낸다.정의 복사관련 학습 ↓설명반복성이 좋아도 공통 편향이 있으면 참값에서 멀 수 있다. 웨이퍼 재위치·작업자·장비 변경을 포함하면 다른 변동 성분도 들어온다.예시한 위치를 열 번 읽어 편차가 작아도 웨이퍼 간 공정 균일도는 알 수 없다.구분같은 대상을 반복한 수와 독립 공정 시편 수를 구분한다.함께 배우는 용어열산화↗열산화는 높은 온도에서 산화제가 실리콘과 반응하여 산화막을 성장시키는 공정이다.임계 치수↗임계 치수인 CD는 소자의 기능이나 제조 허용 범위를 결정하는 중요한 패턴 치수다.반사 방지막↗반사 방지막은 기판 반사로 인한 광학 간섭과 패턴 왜곡을 줄이기 위해 사용하는 층이다.이전 용어← 측정량다음 용어측정 편향 →반도체 기술지도전체 지도 ↗L0 큰 그림L1 분야 이해L2 깊은 탐구✦ BESTL0반도체 시작10무료학습 10개✦ BESTL1반도체 용어오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 공정오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 공정오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 장비오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 장비오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 패키징·HBM오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 패키징·HBM오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 수율·불량오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 수율·불량오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 테스트오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 테스트오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 계측·검사오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 계측·검사오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 소재오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 소재오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 소자오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 소자오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 클린룸·오염관리오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 클린룸·오염관리오픈 30% · 27,300원학습 30개L1Fab 자동화·MES오픈 30% · 27,300원학습 30개L2Fab 자동화·MES오픈 30% · 27,300원학습 30개